Effet de la charge piégée sur le contraste de l'image obtenue en MEB

Abstract

L’analyse des isolants irradiés dans le MEB par le faisceau d’électrons primaires, été toujours contraint par les phénomènes de charge qui peuvent contribuer positivement ou négativement sur l’analyse qualitative et quantitative en MEB, en agissant directement ou indirectement sur les signaux détectés par les détecteurs qui opèrent à l’intérieur du MEB. Ces phénomènes complexes et interdépendants ne peuvent êtres cernés qu’en les étudiants aux moments réels de leurs productions pendant l’irradiation de l’isolant dans le MEB. Dans ce travail de thèse, nous avons utilisé un dispositif expérimental capable d’être placé dans la chambre objet du MEB, et qui permet de mesurer la quantité de charge piégée dans les isolants irradiés dans le MEB par la méthode d’influence électrostatique, qui consiste à mesurer les courants d’influence et de fuite pendant l’irradiation de l’isolant. L’équipement de ce dispositif expérimental par une résistance thermique, nous a permis d’étudier l’effet de la température sur l’aptitude de l’isolant irradié à décharger la charge piégée grâce au coefficient de la fraction de la charge piégée calculé. Le point marquant de ce dispositif expérimental c’est qu’on peut remonter aux valeurs des coefficients d’émissions des électrons secondaires calculés à partir des mesures des courants de fuite et d’influence. La comparaison entre le coefficient d’émission d’électrons secondaires calculé avec les images obtenues pour les mêmes conditions, nous a permis de connaitre des phénomènes physiques qui peuvent empêcher ou améliorer leurs détections. L’analyse spectrale par les rayons X en MEB pour les mêmes conditions de mesures et d’échauffements, nous a permis d’étudier l’effet de la charge sur les phénomènes secondaires qui se produisent à l’intérieur de l’isolant irradié, tels que la désorption et le déplacement de certains composants chimiques, et nous a permis aussi de mesurer le potentiel de surface résultant de la charge piégée. Ces mesures ont été effectuées sur deux isolants de types différents, le verre et le poly éthylène tétralphate.